Tích hợp công nghiệp: Đèn excimer 172nm, làm sạch bề mặt bằng quang hóa.

01 Hoạt động không sử dụng thủy ngân

Xử lý chân không bằng tia cực tím hoàn toàn thân thiện với môi trường, tuân thủ đầy đủ các quy định RoHS quốc tế, loại bỏ nguy cơ nhiễm độc thủy ngân và rủi ro xử lý chất thải từ phòng sạch.

02 Các photon năng lượng cao tạo ra các gốc hydroxyl (HO*)

Phát ra các bước sóng VUV năng lượng cao để liên tục ion hóa các phân tử oxy trong môi trường, tạo ra các gốc hydroxyl phản ứng có mật độ cao (HO*) giúp phân cắt nhanh chóng các liên kết hữu cơ.

03 Chất lượng ổn định & Giao hàng đáng tin cậy với năng lực sản xuất lớn

Được hỗ trợ bởi các dây chuyền sản xuất quy mô công nghiệp lớn, đảm bảo tính đồng nhất hoàn toàn của từng lô hàng, các thử nghiệm lão hóa nghiêm ngặt trước khi vận chuyển và độ tin cậy tuyệt đối của chuỗi cung ứng.

04 Thiết kế đèn có thể tùy chỉnh cho ứng dụng linh hoạt

Chiều dài cung được điều chỉnh phù hợp, kích thước vỏ bọc, đầu nối điện nhiều chân và bộ điều khiển chấn lưu tương ứng để đạt được sự tích hợp cơ khí liền mạch vào các công cụ tùy chỉnh.

Màn hình hiển thị chất nền

Cung cấp quy trình xử lý khô VUV quy mô lớn cho các bề mặt tấm kính lớn. Loại bỏ hiệu quả các vết tích phân tử đa phân tử còn sót lại trước khi xử lý các lớp mảng để đảm bảo độ đồng nhất tối đa và tỷ lệ sản phẩm lỗi thấp hơn.

Tấm bán dẫn silicon

Loại bỏ các cụm hữu cơ vô hình và hydrocarbon trong không khí khỏi bề mặt silicon thô đến cấp độ nguyên tử. Chuẩn bị các mẫu wafer quan trọng cho các đường in thạch bản gốc và các lớp oxit.

Mạch tích hợp

Khử trùng các điểm tiếp xúc siêu nhỏ và bố cục kết nối IC mật độ cao trước khi ghép chip lật. Làm sạch các đường dẫn đầu cuối để tăng cường đáng kể độ bám dính của chất độn và loại bỏ hiện tượng bong tróc bao bì.

Thiết bị quang học

Cung cấp phương pháp làm sạch khô không tiếp xúc, sử dụng nguồn nhiệt lạnh, dành cho các lăng kính mỏng manh, các thành phần tinh thể và quang học laser tiên tiến. Giúp bảo vệ các lớp màng chống phản xạ mỏng khỏi các vết xước do lau chùi thủ công và các vệt dung môi.

Sản xuất màn hình LCD

Làm sạch các tấm tinh thể lỏng bóng bán dẫn màng mỏng (TFT), bộ lọc màu và các tấm phân cực. Tối đa hóa khả năng thấm ướt bề mặt để hỗ trợ sự phân bố vật liệu đồng đều trong quá trình sản xuất tốc độ cao trên dây chuyền lắp ráp.

Giấy điện tử

Tối ưu hóa các lớp nền polymer phức tạp và các tấm ma trận trên màn hình giấy điện tử linh hoạt. Tăng đáng kể mật độ liên kết ngang giữa các lớp mà không gây ra biến dạng nhiệt cấu trúc.

Tròng kính AR

Thực hiện quá trình làm sạch quang học chính xác trên các thấu kính thông minh đeo được bằng nhựa hoặc thủy tinh. Giảm mạnh góc tiếp xúc của nước trên bề mặt trước các quá trình lắng đọng hơi để đảm bảo lớp phủ quang học bền bỉ, không vệt.

Sản xuất vi mô-nano

Kích hoạt quá trình biến đổi hóa học và chèn nhóm cực chức năng (-OH, -COOH) vào nhựa polymer và các thiết lập phòng thí nghiệm trên chip vi lưu, tạo ra các kênh mao dẫn trên chất nền rắn và liên kết vĩnh viễn.