Cuộc điều tra
để lại lời nhắn
Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi và muốn biết thêm chi tiết, vui lòng để lại lời nhắn tại đây, chúng tôi sẽ trả lời bạn sớm nhất có thể.
ngọn cờ
Mô-đun đèn excimer mini 172nm dùng cho công nghệ chế tạo bán dẫn.
172nm excimer lamp

Mô-đun đèn excimer mini 172nm dùng cho công nghệ chế tạo bán dẫn.

Cái Mô-đun excimer MINl 172nm là một giải pháp máy tính để bàn nhỏ gọn, cắm là chạy dành cho Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫnxác nhận trong phòng thí nghiệmBằng cách phát ra bức xạ tia cực tím chân không sóng ngắn (VUV), thiết bị này phá vỡ các liên kết phân tử để loại bỏ các chất gây ô nhiễm hữu cơ và điều chỉnh năng lượng bề mặt mà không làm hỏng chất nền, cung cấp một nền tảng xác thực quy trình linh hoạt cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu và trường đại học.

  • Người mẫu :

    EX-D75-1
  • Cường độ bức xạ trung tâm (@1mm) :

    >10mW/cm²
  • Độ đồng đều bức xạ :

    ±10%
  • Thời gian để đạt 90% sản lượng :

    ≤5 seconds
  • Tuổi thọ trung bình của bóng đèn :

    >1000 hours
  • Phương pháp làm mát :

    Air cooling
  • Kích thước mô-đun (Dài × Rộng × Cao) :

    209×142×69 mm
  • Kích thước ô cửa sổ (Dài × Rộng) :

    75×50 mm
  • Mô-đun thí nghiệm MINI-Excimer 172nm

    Mô-đun thí nghiệm Excimer MINI 172nm được thiết kế cho nghiên cứu và phát triển quy trình bán dẫn, xác thực quy trình và thử nghiệm thí điểm quy mô nhỏ. Với kích thước nhỏ gọn như một cuốn sách, nó cung cấp một điểm khởi đầu tiết kiệm chi phí cho giai đoạn phát triển ban đầu. Hoạt động theo kiểu cắm và chạy và dễ mang theo, nó tích hợp hoàn hảo vào các thiết lập phòng thí nghiệm và bảng mạch quang học tiêu chuẩn.
    Mô-đun này loại bỏ hiệu quả các chất gây ô nhiễm hữu cơ trên bề mặt wafer, thủy tinh và nhựa, cải thiện độ sạch và độ bám dính của bề mặt. Nó đóng vai trò là giải pháp tiền xử lý đáng tin cậy cho việc đóng gói, làm sạch và các ứng dụng quy trình khác. Được làm mát bằng không khí và có khả năng đạt 90% công suất ánh sáng trong vòng 5 giây, nó cung cấp độ đồng nhất cường độ chiếu sáng ổn định để có kết quả thí nghiệm lặp lại được.

    Ứng dụng Các cánh đồng

    Semiconductor Packaging R&D

    Đóng gói bán dẫn — Nghiên cứu và phát triển kích hoạt trước khi liên kết

    Các nhóm nghiên cứu và phát triển sử dụng EX-C300 để tinh chỉnh các thông số VUV 172nm tối ưu — liều lượng, khoảng cách làm việc và thời gian chu kỳ — để kích hoạt các bề mặt gắn chip, lật chip và liên kết lai. Thiết bị để bàn này cung cấp dữ liệu năng lượng bề mặt có thể lặp lại, tạo ra công thức liên kết đã được xác thực trước khi chuyển giao sản xuất.

    Tấm wafer và chất nền — Vệ sinh hữu cơ trước khi lắng đọng

    Các nhà nghiên cứu xử lý các tấm wafer thử nghiệm trần và có hoa văn bằng photon VUV 172nm để thiết lập các tiêu chuẩn độ sạch trước khi thực hiện ALD, CVD hoặc PVD. Hoạt động ở nhiệt độ dưới 40°C loại bỏ mọi rủi ro về giới hạn nhiệt, trong khi dữ liệu XPS và góc tiếp xúc sau xử lý xác định liều lượng hiệu quả tối thiểu để đánh giá chất lượng quy trình.

    Wafer & Substrate Cleaning
    FMM & Photomask Cleaning

    FMM & Photomask — Vệ sinh hữu cơ không gây hư hại

    EX-C300 loại bỏ cặn bẩn hữu cơ trên các mặt nạ kim loại mỏng và mặt nạ quang học bằng phương pháp oxy hóa quang hóa thuần túy — không tiếp xúc, không hóa chất, không cặn. Các thử nghiệm lặp đi lặp lại xác nhận rằng các đặc điểm của mặt nạ ở kích thước nanomet vẫn còn nguyên vẹn, xác định giới hạn liều lượng tích lũy và chu kỳ an toàn để áp dụng trong sản xuất.

    Vật liệu tiên tiến — Điều chỉnh bề mặt và kiểm soát khả năng thấm ướt

    Các phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển phim và pin xử lý các màng polymer (PET, PI, COP) và lá điện cực dưới sự chiếu xạ có kiểm soát ở bước sóng 172nm, sau đó đo độ giảm góc tiếp xúc và độ tăng độ bám dính. Quá trình chiếu xạ photon lạnh tránh được hư hại do nhiệt đối với các vật liệu nhạy cảm, và dữ liệu thu được được đưa trực tiếp vào các công thức sản xuất hiện có – từ phòng thí nghiệm đến sản xuất hàng loạt.

    Advanced Materials Surface Modification

    Các tính năng chính

    01 Thiết kế di động

    Thiết kế nhỏ gọn, nhẹ, sẵn sàng sử dụng trên máy tính để bàn, cắm là chạy.

    02 Khởi động nhanh

    Phát ra tia UV cường độ cao 172nm, khởi động nhanh và ổn định trong 5 giây.

    03 Đầu ra ổn định

    Cường độ chiếu xạ đồng đều đảm bảo kết quả xử lý nhất quán và đáng tin cậy.

    04 Làm mát bằng không khí

    Làm mát bằng không khí, không cần hệ thống làm mát bên ngoài.

    05 Dịch vụ tùy chỉnh

    Các giải pháp ứng dụng tùy chỉnh và dịch vụ thử nghiệm theo hợp đồng đều có sẵn.

    Chứng nhận & Tuân thủ

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Hệ thống quản lý chất lượng được chứng nhận, đảm bảo tiêu chuẩn sản xuất cao cấp.

    CE Certified Declaration
    CE

    Đạt chứng chỉ CE

    Hoàn toàn tuân thủ luật pháp châu Âu về sức khỏe, an toàn và bảo vệ môi trường.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    Tuân thủ tiêu chuẩn ROHS

    Sản xuất thân thiện với môi trường, hoàn toàn không chứa các chất độc hại.

    UL Safety Certificate
    UL

    Được chứng nhận UL

    Đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về cách điện, nối đất và an toàn vận hành của Bắc Mỹ.

    Câu hỏi thường gặp

    Q Các ứng dụng chính của mô-đun EX-D75-1 172nm là gì?

    Mô-đun này được thiết kế đặc biệt cho việc xử lý bề mặt sơ bộ trong phòng thí nghiệm và dây chuyền thí điểm. Các ứng dụng chính của nó bao gồm loại bỏ các chất gây ô nhiễm hữu cơ vết trên tấm bán dẫn và thủy tinh, kích hoạt và biến đổi bề mặt nhựa hoặc polyme để tăng cường độ bám dính, và xác thực quy trình làm sạch siêu mịn trước khi mở rộng quy mô lên sản xuất tự động quy mô lớn.

    Q Mô-đun excimer mini 172nm này có cần hệ thống làm mát bên ngoài không?

    Không cần đến máy làm lạnh nước bên ngoài hay cơ sở hạ tầng làm mát phức tạp. EX-D75-1 tích hợp phương pháp làm mát bằng gió cưỡng bức, duy trì thiết kế nhỏ gọn và trọng lượng nhẹ, sẵn sàng để đặt trên bàn, dễ dàng thích ứng với nhiều môi trường phòng thí nghiệm hạn chế, bao gồm cả buồng thao tác kín.

    Q Mô-đun này có thể đạt được độ sáng ổn định để thử nghiệm trong thời gian bao lâu?

    Mô-đun này có khả năng khởi động tức thì và đánh lửa ổn định nhanh chóng, đạt 90% tổng công suất chiếu sáng định mức trong vòng ≤5 giây. Điều này giúp giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động giữa các lần thử nghiệm quy trình trong phòng thí nghiệm và đảm bảo độ đồng đều chiếu sáng cao (±10%) để thu thập dữ liệu đáng tin cậy.
để lại lời nhắn
Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi và muốn biết thêm chi tiết, vui lòng để lại lời nhắn tại đây, chúng tôi sẽ trả lời bạn sớm nhất có thể.

để lại lời nhắn

để lại lời nhắn
Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi và muốn biết thêm chi tiết, vui lòng để lại lời nhắn tại đây, chúng tôi sẽ trả lời bạn sớm nhất có thể.
LIÊN HỆ VỚI CHÚNG TÔI :jwtan@gmyok.com