Nguồn sáng excimer 172nm chủ yếu được sử dụng trong công nghiệp ở những lĩnh vực nào?

Các ứng dụng công nghiệp chính của a Nguồn sáng excimer 172nm Các ứng dụng bao gồm làm sạch bề mặt, hoạt hóa bề mặt, phân hủy TOC và xử lý bằng tia UV. Các photon 7,2 eV này phá vỡ các liên kết phân tử mà không cần nhiệt, tạo ra một quy trình lạnh, không hóa chất. Bạn sẽ thấy công nghệ này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất màn hình và xử lý nước siêu tinh khiết. Bài viết này sẽ trình bày chi tiết cơ chế và lợi thế công nghiệp của từng ứng dụng.

Những điểm chính cần ghi nhớ

• Ánh sáng excimer 172nm loại bỏ bụi bẩn hữu cơ khỏi bề mặt mà không cần hóa chất hoặc nhiệt.

• Nó làm cho bề mặt nhựa trở nên dính hơn bằng cách tạo ra các liên kết mới, cải thiện độ bám dính của sơn và keo.

• Nó phân hủy chất thải hữu cơ trong nước và làm khô lớp phủ ở nhiệt độ phòng, giúp tiết kiệm năng lượng.

Các ứng dụng công nghiệp chính trong việc xử lý bề mặt

Làm sạch bằng quang hóa và kích hoạt bề mặt là hai ứng dụng chính trong việc biến đổi bề mặt của công nghệ này. Cả hai quy trình đều khai thác các photon năng lượng cao để thay đổi thành phần hóa học bề mặt mà không gây ra hư hại do nhiệt.

Làm sạch bằng quang hóa

Bạn sẽ thấy việc làm sạch bằng phương pháp quang hóa là rất cần thiết để loại bỏ các chất gây ô nhiễm hữu cơ khỏi các chất nền chính xác. Các tấm silicon, tấm kính và các linh kiện quang học thường có cặn chất cản quang, dầu mỡ và dấu vân tay làm ảnh hưởng đến hiệu suất. Đèn Excimer 172nm Quá trình này phá vỡ trực tiếp các liên kết carbon-carbon và carbon-hydro. Đồng thời, bức xạ tạo ra ozone từ oxy trong môi trường. Ozone này oxy hóa các chất cặn bị phân mảnh thành carbon dioxide và hơi nước dễ bay hơi. Quá trình này không tạo ra chất thải lỏng và không cần bước sấy khô.

Các số liệu về hiệu quả rất ấn tượng. Một trường hợp được ghi nhận cho thấy tỷ lệ loại bỏ chất hữu cơ trên bề mặt tấm silicon đạt 99,9% trong vòng ba phút. Một trường hợp khách hàng khác cũng xác nhận tỷ lệ loại bỏ 99,9% tương tự đối với quá trình tiền xử lý tấm wafer. Những kết quả này giải thích tại sao sản xuất màn hình hiển thị, sản xuất tấm cảm ứng và xử lý wafer ngày càng dựa vào phương pháp khô này.

Hiệu quả loại bỏ chất hữu cơ trên bề mặt tấm silicon đạt 99,9%, và thời gian xử lý chỉ 3 phút.

Hãy xem xét sự so sánh với phương pháp làm sạch ướt truyền thống. Một nhà sản xuất chất bán dẫn hàng đầu thế giới đã thay thế phương pháp làm sạch bằng dung môi hóa học bằng công nghệ excimer. Phương pháp cũ để lại cặn hóa chất và gây ra những lo ngại về môi trường. Sau khi áp dụng, công ty đã đạt được hiệu quả làm sạch không để lại cặn, cải thiện hiệu suất lên 30% và giảm chi phí xử lý chất thải lỏng. Các photon cực tím sâu ở mức 7,2 eV phá vỡ hầu hết các liên kết hóa học một cách nhanh chóng. Không giống như hóa học ướt, không có sự ô nhiễm thứ cấp nào xảy ra từ chính các chất tẩy rửa.

Kích hoạt bề mặt để tăng độ bám dính

Kích hoạt bề mặt biến đổi các bề mặt polymer trơ thành các giao diện phản ứng hóa học. Bức xạ 172nm tạo ra các nhóm hydroxyl và carbonyl trên chuỗi polymer. Các nhóm chức này làm tăng đáng kể năng lượng bề mặt và khả năng thấm ướt. Bạn cần xử lý bề mặt này trước khi phủ mực, lớp phủ hoặc chất kết dính lên các loại nhựa có năng lượng thấp.

Những cải tiến về định lượng chứng minh giá trị của nó. PEEK bán tinh thể cho thấy độ bền bám dính tăng từ 3 MPa khi chưa xử lý lên khoảng 20 MPa ở 100 mJ/cm² và 25 MPa ở 1000 mJ/cm². PEEK vô định hình cũng cải thiện từ 5 MPa lên mức cao tương tự.

Đèn excimer phát ra ánh sáng 172nm làm tăng khả năng thấm ướt và năng lượng bề mặt trên thủy tinh, kim loại và polyme. Quá trình kích hoạt này là một giải pháp thay thế cho các phương pháp xử lý plasma và corona. Sản xuất mạch in (PCB) dựa vào bước này để đảm bảo độ bám dính lớp phủ chống hàn. Lắp ráp linh kiện ô tô sử dụng nó để liên kết các bộ phận bằng nhựa. Quy trình này tích hợp liền mạch vào các dây chuyền sản xuất "làm sạch bằng ánh sáng" và "làm khô bằng ánh sáng".

Các ngành công nghiệp áp dụng công nghệ này bao gồm sàn PVC, màng trang trí, ván sợi, ván ép, tấm gỗ và các bộ phận nhựa ô tô. Các ứng dụng công nghiệp chính của việc biến đổi bề mặt tiếp tục mở rộng khi các nhà sản xuất khám phá ra những ứng dụng mới.

Ứng dụng oxy hóa và đóng rắn tiên tiến

Ngoài việc biến đổi bề mặt, nguồn laser excimer 172nm còn thúc đẩy hai quá trình quan trọng: phân hủy tổng lượng carbon hữu cơ (TOC) trong nước siêu tinh khiết và xử lý bằng tia UV ở nhiệt độ thấp. Cả hai ứng dụng đều tận dụng cùng một loại photon năng lượng cao để đạt được những kết quả mà các công nghệ thông thường không thể làm được.

Sự phân hủy TOC trong nước

Bạn cần nước siêu tinh khiết với hàm lượng TOC dưới mức phần tỷ để sản xuất chất bán dẫn và dược phẩm. Đèn UV truyền thống không thể phân hủy hiệu quả các hợp chất hữu cơ cứng đầu. Bước sóng 172nm cung cấp 7,2 eV trên mỗi photon, cho phép quá trình oxy hóa tiên tiến phân hủy các tạp chất hữu cơ thành carbon dioxide và nước vô hại.

Khả năng oxy hóa của quy trình này vượt xa các phương pháp oxy hóa bằng tia cực tím thông thường. Bạn loại bỏ hoàn toàn các chất phụ gia hóa học, tránh được sự nhiễm bẩn thứ cấp. Mô-đun Excimer 172nm Công nghệ này tích hợp trực tiếp vào các vòng xử lý nước, cung cấp khả năng giảm TOC liên tục mà không cần hóa chất tiêu hao. Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn dựa vào công nghệ này để duy trì các tiêu chuẩn về độ tinh khiết của nước, điều này ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất sản phẩm. Các nhà sản xuất dược phẩm cũng sử dụng phương pháp tương tự để đáp ứng các yêu cầu quy định nghiêm ngặt đối với hệ thống nước dùng cho tiêm truyền.

Quy trình hoạt động liên tục và không cần chu kỳ tái tạo. Bạn theo dõi nồng độ TOC trong thời gian thực và điều chỉnh tốc độ dòng chảy cho phù hợp. Không giống như các phương pháp oxy hóa hóa học, phương pháp này không để lại sản phẩm phụ dư thừa có thể ảnh hưởng đến các quy trình tiếp theo.

Làm khô bằng tia UV ở nhiệt độ thấp

Bạn phải đối mặt với một thách thức cơ bản khi làm khô chất kết dính và lớp phủ trên các chất nền nhạy nhiệt. Đèn thủy ngân thông thường phát ra bức xạ hồng ngoại đáng kể, làm tăng nhiệt độ chất nền và gây ra hiện tượng cong vênh, đổi màu hoặc thay đổi kích thước. Nguồn excimer 172nm giải quyết vấn đề này một cách hiệu quả.

Khác với các loại đèn UV thủy ngân áp suất trung bình thông thường, đèn excimer phát ra không có bức xạ hồng ngoại, dẫn đến không gây tác động nhiệt lên chất nền và loại bỏ nhu cầu về hệ thống làm mát phức tạp hoặc thông gió bằng ozone.

Tính ổn định nhiệt của công nghệ excimer không chỉ giới hạn ở phổ phát xạ:

• Bề mặt của ống thạch anh của đèn excimer. không bị nóng (không giống như đèn hơi thủy ngân).

• Hầu hết các đèn excimer hoạt động với làm mát rất ít hoặc không cóvà là Bật/tắt tức thì Không cần chu kỳ làm nóng hay làm nguội, điều này chứng tỏ tính ổn định nhiệt.

Bạn có thể làm cứng các loại nhựa quang trùng hợp chuyên dụng ở nhiệt độ môi trường trên nhựa, giấy và các vật liệu mỏng manh khác. Các quy trình cuộn tốc độ cao được hưởng lợi rất nhiều, vì bạn loại bỏ được các trạm làm mát và giảm diện tích mặt bằng cần thiết. Khả năng BẬT/TẮT tức thì cho phép định lượng năng lượng chính xác, ngăn ngừa hiện tượng làm cứng quá mức hoặc làm hỏng vật liệu nền.

Các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao cần mức độ kiểm soát này. Khi bạn liên kết các thành phần quang học hoặc làm khô các lớp phủ bảo vệ trên các thiết bị điện tử linh hoạt, việc quản lý nhiệt trở nên vô cùng quan trọng. Một nhà cung cấp uy tín Nhà sản xuất đèn Excimer Sẽ chỉ định chính xác mật độ năng lượng cần thiết cho hệ thống nhựa của bạn, đảm bảo độ sâu đóng rắn đồng đều mà không gây ra ứng suất nhiệt.

Các ứng dụng oxy hóa và xử lý nhiệt tiên tiến này đại diện cho nhóm ứng dụng công nghiệp chính thứ hai của nguồn sáng đa năng này. Sự kết hợp giữa quá trình oxy hóa không dùng hóa chất và xử lý nhiệt ở nhiệt độ thấp mở rộng khả năng sản xuất trên nhiều lĩnh vực.

Bốn ứng dụng công nghiệp chính—làm sạch bằng phương pháp quang hóa, kích hoạt bề mặt, phân hủy TOC và xử lý ở nhiệt độ thấp—làm cho vật liệu này trở nên quan trọng. Đèn Excimer 172nm Điều này rất cần thiết. Bạn có được độ chính xác, khả năng xử lý ở nhiệt độ thấp và hoạt động không sử dụng hóa chất. Các báo cáo ngành dự báo mức tăng trưởng hàng năm là 10%. Khi nhu cầu về chất lượng tăng lên, việc áp dụng công nghệ này cũng ngày càng phổ biến. Mô-đun Excimer 172nm sẽ mở rộng. Một người đáng tin cậy Nhà sản xuất đèn Excimer Tạo điều kiện cho sự đổi mới thế hệ tiếp theo.

Câu hỏi thường gặp

Liệu phương pháp chiếu xạ excimer 172nm có gây hư hại cho các chất nền nhạy nhiệt không?

Không. Đèn Excimer 172nm không phát ra bức xạ hồng ngoại, do đó vật liệu nền vẫn ở nhiệt độ môi trường. Bạn có thể xử lý nhựa, giấy và các thiết bị điện tử mềm mà không bị cong vênh, đổi màu hoặc thay đổi kích thước.

Phương pháp kích hoạt bề mặt 172nm so với xử lý bằng plasma thì như thế nào?

Cả hai phương pháp đều làm tăng năng lượng bề mặt, nhưng phương pháp sử dụng laser excimer mang lại những ưu điểm vượt trội. Bạn có được sự xử lý đồng đều mà không cần buồng chân không, không bị nhiễm bẩn điện cực và khả năng bật/tắt tức thì. Quy trình này dễ dàng tích hợp vào dây chuyền sản xuất hơn so với hệ thống plasma.

Liệu có thể nâng cấp các dây chuyền sản xuất hiện có bằng công nghệ laser excimer không?

Đúng vậy. Mô-đun Excimer 172nm có thể lắp đặt trực tiếp vào các hệ thống băng tải hoặc vòng xử lý nước hiện có. Bạn chỉ cần diện tích sàn tối thiểu, không cần cơ sở hạ tầng làm mát và không cần kho chứa hóa chất. Hầu hết các nhà sản xuất hoàn tất việc tích hợp trong vòng vài ngày, chứ không phải vài tuần.